微型传感器探秘：电容式真空探测者的绝热板之旅

导语：揭开一款基于电容式微型真空度检测系统的神秘面纱。摘要：介绍一种利用PIC系列单片机实时测量真空绝热板内真空的创新系统，实验数据表明其精度可达10-2Pa，完全满足要求。

1 引言

随着节能材料的广泛应用，寻找更低导热系数的隔热材料成为节能保温领域的一大挑战。真空绝热板因其高效隔热性能，在现代建筑和冷藏设备中得到越来越多的使用。然而，其内部真空度的准确测量一直是个难题。

2 系统组成及原理

2.1 电容式微型真空传感器

这种传感器通过硅膜片在压力的作用下产生变形，使得两极板之间距离变化，从而改变电容值，这是测量基础。结构包括玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片（上电极）和密封用的玻璃。

2.2 CVC测试系统电路

采用带增量调制器的CVC转换器，以获得可调节信号带宽和检测精度。

2.3 信号放大电路

输出信号经过放大处理，以便采集与传输，并进行后期信号处理。

2.4 PIC16F87X系统工作电路

使用PIC16F87X作为核心控制芯片，实现复位键功能和振荡系统。

3 测量数据及分析

通过将环境中的 真相度转换为对应的小巧小巧小巧小、小、小、小，小、小，小 小 小 小 小 Small Small Small,Small,Small,Small,Sm